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压力传感器的原理及其应用电路设计
2012-6-4
压力传感器的原理及其应用电路设计
  
  汽车传感器是汽车电子化、智能化的基础和关键,而其中使用较多、发展最快的是压力传感器。汽车压力传感器应用在汽车的很多系统中,如电子检测系统、保安防撞系统等。其中应用在轮胎气压方面的目的在于最大限度地减少或消除高压爆胎和低压辗胎造成的轮胎早期的损坏,使轮胎经常保持标准气压,延长轮胎的寿命,降低轮胎的消耗,提高经济效益。有报道说,将微型压力传感器埋置于汽车轮胎中,测量其中气压,以控制对轮胎的充气量,避免过量和不够,由此可节省百分之十的汽油。
  
  压力传感器的原理和应用分类
  
  传感器是将各种非电量(包括物理量、化学量、生物量等)按一定规律转换成便于处理和传输的另一种物理量(一般为电量)的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件和测量电路三部分组成,有时还需外加辅助电源。传感器方框图如图1所示。
  
  制造半导体压力传感器的基本原理是利用硅晶体的压阻效应。单晶硅材料在受到应力作用后,其电阻率发生明显变化,这种现象称为压阻效应。
  
  压力传感器所用的元件材料是具有压阻效应的单晶硅、扩散掺杂硅和多晶硅。根据晶体不受定向应力时,电导率是同性的,只有受定向应力时才表现出各向异性,由于应力能引起能带的变化,能谷能量移动,导致电阻率的变化,于是就有电阻的变化,从而产生压阻效应。单晶硅效应包括n型和p型硅压阻效应。选用扩散硅目的在于在设计制造压力传感器时可根据不同温度下硅扩散层的压阻特性选择合适的扩散条件,力求使压力传感器具有良好的性能。多晶硅在传感器中有广泛的用途,可作为微结构和填充材料、敏感材料。
  
  压力传感器按用途分类主要是压力监视、压力测量和压力控制及转换成其他量的测量。按供电方式分为压阻型和压电型传感器,前者是被动供电的,需要有外电源。后者是传感器自身产生电荷,不需要外加电源,根据不同领域对压力测量的精度不同分为低精度和高精度的压力传感器。
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